Sprejové mycí leptací zařízení pro polovodičový průmysl

Sprejová mycí a leptací zařízení slouží k mytí a leptání křemíkových desek při polovodičové výrobě, dále pak substrátů (podložek) ze skla, safíru a jiných materiálů, které je potřeba dokonale povrchově očistit. Samotné mytí se provádí pomocí aerosolu, který je rozprašován v uzavřené pracovní komoře. V komoře je pak otáčející se karusel, ve kterém jsou v zásobníku nebo více zásobnících (kazetách) umístěny polotovary pro čištění.

Mytí a leptání je možné provádět ve studené demineralizované vodě, v horké demineralizované vodě do teploty 90°C a chemické čištění a leptání je možné v těchto chemikáliích a jejich kombinacích. V H2SO4, HF, HCl, H2O2, NH4OH, HNO3, BOE a dalších.

Zařízení může pracovat až se 6 chemikáliemi, kdy každá je vybavena vlastním zásobníkem, filtrem a regulátorem průtoku pro stanovení přesného množství chemikálie potřebné pro technologický proces.

Vyrábíme zařízení vlastní konstrukce, nebo modernizujeme stávající stroje jiných výrobců dle požadavku zákazníka.

Uplatnění výrobku

Tento typ zařízení slouží k mytí v demineralizované vodě, leptání oxidů z povrchu substrátů, čištění od fotocitlivých laků a jejich zbytků, čištění od prachových částic do rozměru 0,18 mikrometrů, odstraňovaní kovové kontaminace kovů jako železo a další z povrchu substrátů.

Rozměry kulatých substrátů mohou být od průměru 50 mm do průměru 300 mm. V zařízení je možné zpracovávat i čtvercové nebo obdélníkové substráty o maximální velikosti strany do 300 mm.